产品特性:真空传感器 | 品牌:Posifa | 型号:PVC3004 |
压力类型:绝压A | 工作压力:101Kpa | 输出类型:模拟电压输出 |
输出电压:100mV | 精度:1% | 系列:PVC3004 |
电源电压:3V | 端口类型:PVC3004 | 工作温度:125℃ |
封装/外壳:PVC3004 | 特性:PVC3004 | 最小包装数:20 |
应用领域:测量仪器 |
PVC3004自动温度补偿0.13Pa-101KPa真空度传感器Posifa
PVC3000系列MEMS热电堆真空传感器
MEMS微型皮拉尼真空传感器具有更高的精度、可重复性和***功耗。
传统的皮拉尼真空传感器使用热线或热敏电阻,通过监测热线或热敏电阻在真空环境中的热传递来测量真空。博思发科技公司通过将皮拉尼传感器的所有部件微加工成单一的集成微结构,***改变了使用热导率测量真空压力的方式。由此产生的微型皮拉尼真空传感器具有更高精度、可重复性、测量范围和***功耗,允许工程师设计出比以往设备大大缩小的真空测量产品和应用。博思发科技公司的传感器采用***的CMOS半导体工艺,具有***的性能和可扩展性,在确保高品质的同时,实现了较低的生产成本。
说明
Posifa公司的PVC3000系列MEMS热电堆真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案。通过这种方案,可以测量从1mTorr(0.13Pa)到一个标准大气压(760Torr,101KPa)的整个量程。很明显,皮拉尼真空度传感器的测量上限仅达到30Torr。一个压阻式压力传感器无法测量低于10Torr的真空度。一个昂贵的电容式压力传感器的测量下限也仅有0.1Torr。PVC3000系列传感器可以同时取代上述几种传感器。
此外,PVC3000拥有超快响应时间(不超过2mSec)和***功耗(典型值:45mW)的特点。通过休眠的手段,功耗还可以进一步降低。比如说,把休眠触发设置为10Hz,那么功耗可以降低到5mW。
PVC3000可以倍设计位差分结构,将一个传感器暴露于真空当中(作为测量单元),同时把另一个传感器放置于大气环境中(作为参考单元)。这样的差分结构可以实现自动内部温度补偿,以及排除其他可能造成传感器漂移的环境因素,以此达到良好的重复性和长期稳定性。
PVC3000采用了博思发的***代热传导传感器芯片(PTCD20),利用气体的热传导率与该气体的真空度成正比的原理设计而成。
PVC3000系列传感器,现在向客户提供两种封装形式。PVC3001封装在TO5的金属壳体中,PVC3004封装在TO46的金属壳体中。
特点
量程:0.001~760托(0.13~101K帕)
响应时间:小于2毫秒
功耗:小于5mW(10Hz唤醒频率)
利用差分结构实现自动内部温度补偿(依赖于实际应用电路)
可以浸泡于溶液中清洗,延长使用寿命
极限条件
工作温度:-25~85℃
存储温度:-40~90℃
机械冲击:100g峰值(5次跌落,3轴)
应用
密闭真空系统的泄漏检测
真空包装机
便捷式数字真空计
产品编号 规格
PVC3001 TO5 金属封装
PVC3004 TO46 金属封装