| 产品特性：质量流量 | 品牌：Sensirion盛思锐 | 型号：SLQ-QT105 |
| 传感器类型：质量流量控制器 | 监测范围：80?l/min | 精度：0.8% |
| 输出电压：10V | 电源电压：5V | 系列：SLQ-QT105 |
| 特性：液体流量 | 安装类型：插件 | 最小包装数：1 |
| 应用领域：测量仪器 |
SLQ-QT105涂料光刻胶分配120ml毫升每分钟烃基液体流量计Sensirion
液体流量计 SLQ-QT105
针对半导体应用
SLQ-QT105针对要求苛刻的涂料系统的定做，是高达120 ml/min流量的烃基液体的半导体级-传感器解决方案。
该传感器基于Sensirion成熟的热式传感器技术，开辟了灵敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速响应时间有助于高度动态过程的准确监测，如快速分配操作。该传感器配备4x3mm PFA管件，无运动部件，通过一个笔直的流道壁进行非侵入性测量。所提供的智能数字接口(如RS485)可实现具有总线能力的远距离通讯。
性能参数
烃基液体的流量：120 ml/min
适用于光致抗蚀剂和溶剂
低至***流量的灵敏度
快速响应时间低至30 ms
RS485、USB或0-10 V模拟电压输出
***的耐化学性
惰性触液材质：PCTFE、PFA和石英玻璃材料
***纯度
笔直流道，无运动部件
工作压力：3 bar（可按要求提供高压强等级）
应用
高端半导体过程控制
光刻胶分配
快速给药操作
液体流量计
Sensirion液体流量计为液体低流量监测、处理和分配等重要应用建立新标准。Sensirion独特的CMOSens? 技术通过传感器流道壁以毫升、微升和低至个位数的纳升/分钟为单位，提供双向液体流量测量。医疗设备、诊断、过程控制和自动化技术等领域的应用均受益于Sensirion***的传感器解决方案。
带有坚固的IPxx保护外壳的SLx液体流量计是高要求的工业环境、桌面测试装置或独立应用的。液体流量计均提供相同电气接头，适用于SCC1-USB、SCC1-RS485和SCC1-Analog传感器电缆。
Lx液体流量计是诊断或生命科学应用的仪器、设备或OEM系统的理想选择。
LPG10系列传感器由适用于低流量应用的微型平面玻璃芯片制成，适合空间局限的应用。凭借向下安装的流体端口，可紧凑集成在微流体管道中。
LD20系列是适用于生物医学应用的一次性组件。
选型指南
选择合适的液体流量计并不只是选择合适的流量，还须查看其他几个标准，记住技术要求，以便找到最合适的传感器。选型指南是为了帮助您决定哪款液体流量计最合适。
我们的液体流量计***经工厂校准，一般针对H2O，IPA，或两者校准。此校准为水溶液（H2O）或碳氢化合物、油、燃料和有机溶剂（IPA）的测量提供了一个良好的根据。
